Avantaĝoj:
Ĉi tiu serio de pumpilo kapablas agi sub severaj mediaj (alta temperaturo, polvo, ktp), stabila en rendimento kaj kun longa servodaŭro, kaj simpla bontenado kaj oportuna funkciado ankaŭ.
Aplikoj:
Ĉefaj aplikoj estas en industria likdetekto, PVD, CVD, jona enplantiĝo, vakua elektronika komponado-fabrikado, malalta E-vitro, ITO-vitro, optika tegaĵo, sunĉeloj, elektronradia veldado, vakua forno kaj aliaj industrioj.
Specifoj:
Flange (En) | DN400 ISO-K | Gaso Laŭlonge de (sccm) | N2: 5500 |
Flange (Ekstere) KF | DN100 | Li : 4000 | |
Pumpanta Rapideco (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Li : 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Rotacia Rapido (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Antaŭa Tempo (min) | ≤18 | |
Kunprema Rilato | N2: 108 | Malvarmiga Tipo, Norma | Akvo |
Li : 103 | Malvarmeta Akva Konsumo (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Malvarmiga Akva Temperaturo (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Potenca Konekto: Tensio (V AC) | DC24 / AC220 | |
Finfina Premo (Pa) | 6 × 10-6 | Maksimuma Potenca Konsumo (W) | ≤1100 |
Maks. Kontinua Antaŭvakua premo (Pa) | 100 | Regila Modelo | FD-III |
Maks. Antaŭvakua Premo | N2: 300 | Pezo (kg) | 130 |