Turbomolekula pumpilo en kristalaj oscililoj

Kristala oscilatoro estas ofte uzataj horloĝaj komponantoj en cirkvitoj, ĝia ĉefa rolo estas doni la referencan oftecon al grafikaj kartoj, retaj kartoj, bazcirkvito kaj aliaj partoj de la komponantoj, vaste uzataj en informaj aparatoj, moveblaj fina stacioj, inteligenta vesto, Interreto de Aĵoj kaj aliaj kampoj. La normala funkciado de elektronikaj cirkvitoj dependas de la regula, stabila "horloĝa signalo", en normalaj funkciadaj kondiĉoj, la absoluta precizeco de ordinara kristala frekvenco povas atingi 50 por miliono.
图片2图片4
La ĉefa funkcia materialo de kvarco estas kristalo, sesangula konusa kristalo kun kemia konsisto de silicia dioksido (SiO2).
Kvarco estas la krudaĵo por resonatoroj pro ĝiaj piezoelektraj efikoj de pozitiva (mekanika energio → elektro), inversa (elektra → mekanika energio). Se premo estas aplikata laŭ la ŝaftoj aŭ mekanikaj ŝaftoj de kvarcaj oblatoj por misformi la oblatojn, la du surfacoj perpendikularaj al tiuj aksoj generas elektran ŝargon, fenomenon konatan kiel pozitiva piezoelektra efiko. Se elektra kampo estas aplikata sur ambaŭ surfacoj de kvarca kristalo, la oblato etendiĝas aŭ kunpremas laŭ la direkto de la ŝafto kaj la mekanika akso, fenomeno konata kiel kontraŭprema efiko. Surbaze de ĉi tiu karakterizaĵo, kiam la kvarca kristalo estas metita en alternan elektran kampon, la volumeno de la kristalo estas periode kunpremita aŭ streĉita, formante la mekanikan vibradon de la kristalo. Kiam la ofteco de la alternkampo egalas al la propra me mechanicalanika resonanca ofteco de la oblato, la mekanika vibra amplekso de la oblato estas la plej granda, rezultigante resonancon.
微信图片_20210601094636图片5
En la produktado, la kvar procezoj de arĝenta tegado, agordo, kunligado kaj testado estos kompletigitaj en vakua stato kiel sube.
Arĝenta tegmaŝino
En la procezo de fabrikado de kvarcaj kristalaj elementoj necesas duflanka arĝenta tegaĵo sur la jam tranĉita substrato por formi duflankan elektrodon. Dum la pasintaj jaroj, alta vakuo de arĝentaj maŝinoj generitaj per difuzaj pumpiloj. Pro postuloj pri kvalito kaj energiefikeco, turbomolekula pumpilo estas uzata iom post iom por anstataŭigi difuzajn pumpilojn en la industrio.
Agordmaŝino
Jona akvaforta metodo estas adoptita por ĝustigi la dikecon de la oblata surfaca elektrodo, tiel ke la kristala resonator-frekvenco atingas la celan oscilan oftecon. La ekipaĵo ekipita per duobla transportilo estas havebla por 1280 kristalaj oscilaj elementoj, kun funkcio de realtempa kontrolado de kristala oscila ofteco, povas manipuli 64 kristalajn vibrajn elementojn samtempe. La vakuokamero de la fajnagorda maŝino estas dividita en la preparkameron kaj la fajnagordan ĉambron. Kiam la ekipaĵo estas ŝaltita, la vakua grado de la preparĉambro reduktiĝos de atmosfera premo al dekoj da Pa, la vakua grado de la fajnagorda ĉambro fine reduktiĝos al 10-3 ĝis 10-4 Pa. Ĝenerale, Molekulaj pumpiloj kutimas generi la altan vakuon en la fajnagorda kamero.
Veldmaŝino
La velda procezo estas sigeli la supran kovrilon kun la bazo por certigi, ke la maljuniĝo de la produkto plenumas la postulojn. En kio pasiva kristalo povas esti rekte plenigita per nitrogena gaso por sigeli, dum aktiva kristalo devas esti aldonita vibra blato antaŭ sigelado. En la procezo de vakua kalcinado parto de la sigelmaŝino, alta vakuo akiriĝas per uzado de molekula pumpilo.
En la lastaj jaroj, kun la rapida disvolviĝo de laŭfluaj aplikoj kiel 5G, aŭtomobila elektroniko kaj poŝtelefonaj fina stacioj, la kristala industrio malfermis novajn ŝancojn. Kiel spertaj solvoj pri vakua industrio, KYKY havas multajn spertojn en la kampo de kristala oscilo, provizis plenan gamon da vakuaĵoj kaj personecigitajn solvojn. En la estonteco, KYKY daŭre profundiĝos en la industriaj segmentoj, aliĝante por provizi al klientoj pli bonkvalitajn produktojn kaj servojn.
图片7图片6


Afiŝotempo: 14-14 majo